Спецтехнологическое оборудование (СТО)

1. Оборудование для производства изделий электронной техники.

1.1. Установка вакуумного напыления 01НЭ - 7 - 004 ("Оратория - 9"), предназначенная для нанесения плёнок алюминия, легированного кремнием, на пластины диаметром 76 или 100мм методом электронно-лучевого испарения из водоохлаждаемых тиглей в вакууме (подлежит модернизации по договоренности с заказчиком).
1.2. Установка вакуумного напыления с магнетронными распылителями УНИ.СКП - 002, предназначенная для нанесения многослойных функциональных покрытий на подложки из металла, стекла, керамики, пластмассы, расположенные на барабане с вертикальной осью вращения методом магнетронного распыления с двух протяжённых магнетронов (подлежит модернизации по договоренности с заказчиком).
1.3. Установка вакуумного осаждения УВНРЭ.Э - 60, предназначенная для нанесения многослойных оптических покрытий, включая ахроматические, на планетарно вращающиеся подложки методами электронно-лучевого и резистивного распыления в вакууме с оптическим контролем толщины напыляемого покрытия в проходящем и отражённом свете и стабилизацией скорости испарения при работе ЭЛИ (подлежит модернизации по договоренности с заказчиком).
1.4. Установка вакуумного напыления УВН-71П-3М, предназначенная для отработки технологии напыления и серийного производства пленочных элементов и схем (модернизирована).
1.5. Установка вакуумного напыления УВН-74П-3М, предназначенная для отработки технологии напыления и серийного производства пленочных элементов и схем (модернизирована).

2. Оборудование для нанесения износостойких, коррозионностойких и декоративных покрытий.

2.1. Установка нанесения упрочняющих покрытий УВН.ИПА - 1 - 001, предназначенная для нанесения покрытий различных металлов, в том числе тугоплавких, соединений типа нитридов, карбидов, оксидов и их композиций, а также углеродных алмазоподобных плёнок на изделия широкого функционального назначения методом вакуумно-дугового распыления с предварительной ионно-лучевой обработкой поверхности изделий (подлежит модернизации по договоренности с заказчиком).
2.2. Установка нанесения упрочняющих покрытий УВН.ИПА - 1 - 004, предназначенная для нанесения покрытий различных металлов, в том числе тугоплавких, соединений типа нитридов, карбидов, оксидов и их композиций, а также углеродных алмазоподобных плёнок на изделия различного функционального назначения методом вакуумно-дугового распыления с предварительной ионно-лучевой обработкой поверхности изделий (подлежит модернизации по договоренности с заказчиком).
2.3. Установка вакуумного напыления дуговая УВНД - 80 - 005 "Плазменный котёл", предназначенная для нанесения покрытий различныхметаллов, соединений типа нитридов, карбидов, оксидов и их композиций методом вакуумно-дугового распыления на изделия типа тел вращения, расположенные на барабане с горизонтальной осью вращения (подлежит модернизации по договоренности с заказчиком).

3. Прочее оборудование и элементы СТО.

3.1. Тиристорный преобразователь частоты ТПЧ - 210 - 8, предназначенный для преобразования сетевого напряжения стандартной частоты в выходное напряжение 350В частотой 8кГц для использования в технологических установках, требующих высокой частоты (термообработка, пайка, плавление, разогрев и т. п.)
3.2. Источник ионов ИИ - 4 - 0,15("Радикал"), предназначенный для ионного и ионно-химического травления поверхностей обрабатываемых в вакууме изделий, а также их очистки перед напылением плёнок различного функционального назначения за счет энергии сфокусированного пучка ионов инертных газов или радикалов химически активных технологических газов.
3.3. Регуляторы расхода газа РРГ - 1, РРГ - 2, РРГ - 3, РРГ - 7, предназначенные для регулирования расхода газа и преобразованя его объёмного расхода в электрический сигнал напряжения постоянного тока для использования в составе технологического оборудования для производства изделий электронной техники.